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超純水在太陽能行業、硅片切割行業的應用半導體晶片切割制造用水工藝、半導體芯片清洗

來源:濟南純水設備??????2021/3/23 11:32:41??????點擊:
濟南純水設備 http://www.sxqgw.com超純水應用范圍概述:

電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗

電子管生產 電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

顯像管和陰極射線管生產 配料用純水

純水設備黑白顯像管熒光屏生產 玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水

液晶顯示器的生產 屏面需用純水清洗和用純水配液

晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制

集成電路生產中高純水清洗硅片

二、典型工藝流程

    預處理系統-反滲透系統-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象 (18MΩ.CM)(傳統工藝)

      預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.20.5μm精密過濾器-用水對象(18MΩ.CM)(最新工藝)

      預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.20.5μm精密過濾器-用水對象(17MΩ.CM) (最新工藝)    

        預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.20.5μm精密過濾器-用水對象(15MΩ.CM)(最新工藝)

    純水設備處理系統-反滲透系統-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象 (15MΩ.CM)(傳統工藝)

三、達到標準

  顯像管、液晶顯示器用純水水質(經驗數據)

    集成電路用純水水質

    國家電子級純水標準

    美國SEMI標準

高純水的制備上。純水設備北京純水設備天津水處理設備天津去離子水設備醫院用純化水設備 實驗室純水設備醫用GMP純化水設備

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